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非接觸式測厚儀

簡要描述:非接觸式測厚儀采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。可單次測量多層膜,最高可測 20 層。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-05-17
  • 訪  問  量:164

詳細介紹

Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測量原理:低相干邁克爾遜干涉儀  

非接觸式測厚儀

 

 


如圖所示:


Light Source(短相干光源)發出短相干光束,經Beamsplitter分束成兩束光,這兩束光通過準直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上;
在測量臂段,光束經待測物前后兩表面反射產生兩束反射光;在參考臂段,光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經光纖返回到Beamsplitter 中,此時掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發生干涉產生兩干涉信號經探測器(光電二級管)轉換為電信號再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準確移動,當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時,才能夠發生干涉。這樣通過監控參考鏡的移動,就可以 測量被測鏡的位置。

 

非接觸式測厚儀特點

1. 非接觸式、非破壞性; 
2. 實時在線測量或離線測量; 
3. 可單次測量多層膜,最高可測 20 層; 
4. 探針靈活配置,實現多個不同目標測量 (最多可配8個探頭); 
5. 測試速度快(1s) 
6. 適用范圍廣 
 

非接觸式測厚儀性能參數:

型號

OptiGauge® LT

OptiGauge II

OptiGauge EMS

測量范圍(n=1.5)

12μm to 3.3 mm

12µm to 12 mm

12µm to 35 mm

測量層數

1

20

20

絕對精度

±1μm

±0.1µm

±0.1µm

重復精度

1μm 1σ

0.1µm 1σ

0.1µm 1σ

掃描速率

50Hz

50Hz,100Hz 和200Hz可選

20Hz

光源

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

測量頭工作距離

25mm and 50mm

25mm and 50mm

25mm and 50mm

光纖長度

3m,max 1000m

3m,max 1000m

3m,max 1000m

測厚儀應用領域:

Lumetrics 產品既可以提供獨立的測量頭,也可以集成在各種設備中,廣泛應用在以下領域,

1、光電子行業:

2 、薄膜行業:測量塑料薄膜的厚度

3 、醫療行業:測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等

4、單件元件厚度控制(特別適用于紅外材料,測量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度測試:浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量

 

非接觸式測厚儀


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